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Automanuelle Single - Achse Mechanische Mühle
Die mechanische Mühle der Automanuellen Single - Achse liefert eine Präzisionsausdünnung von harten, spröden Materialien wie Saphir, Silizium, Germanium, Quarz, Gaas, Keramik und SIC.
Funktionen
Anwendung
Die mechanische Mühle der Automanuellen Single - Achse liefert eine Präzisionsausdünnung von harten, spröden Materialien wie Saphir, Silizium, Germanium, Quarz, Gaas, Keramik und SIC. Diese vielseitige Ausrüstung führt auch eine Rückseite für integrierte Schaltkreise (ICs), diskrete Geräte und LED -Chips durch. Die automaluelle Single - -Axis -mechanische Trinker verwendete feine - -Rokalis -Räder und setzt eine direkte Verarbeitung auf geätzten oder polierten Oberflächen - effektiv reduzieren - effektiv reduzieren Wafer - auf - Wafer -Dicke -Dicke -Dicke -Variation der Gesamtdicke (TTV) innerhalb der individuellen Wafer -Dicke.
SFG380 - M - Sautomanuales mechanischer Mühle mit Einzel-Achsen
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Modellnummer |
Sfg380 - m - s Single - Spindel-Einzel-Seite-Ausdünnungsmaschine |
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Waferdurchmesser |
Max 12 |
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Spindel |
Spindelart |
Hochfrequenzmotor gebaut - in mechanischer Spindel |
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Spindelnummer |
1 |
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Nennleistung |
7kW |
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Geschwindigkeit |
0-4000 U / min |
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Minimum Z - Achsenbewegung |
0.1μm |
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Z - Achsenauflösung |
0.1μm |
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Instrument messen |
Messbereich |
0-1200μm |
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Auflösung |
0.1μm |
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Wiederholbarkeit |
±0.5μm |
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Lagertisch |
Tragetischspindeltyp |
Mechanische Spindel |
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Lagertischtyp |
φ360mm Keramikplatte |
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Fester Modus |
Vakuumfixierung |
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Geschwindigkeit |
0-400 U / min |
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Lagertabelle Nummer |
1 |
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Ausrüstungsgröße (l * w * h) |
Ungefähr 2026 mm*800 mm*1915 mm |
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Gerätegewicht |
Ungefähr 2500 kg |
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